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Hitachi

株式会社 日立情報通信エンジニアリング

装置の概要

写真:HDD磁気ヘッド研磨装置

HDD内部にはディスクからデータを読み書きするために、磁気ヘッドが搭載されてますが、磁気ヘッドが回転中のディスクに直に触れてしまうとディスク内のデータが壊れてしまうため、磁気ヘッドはディスク回転により発生する揚力で、ディスク表面から数ナノメートルと非常に至近距離を浮上しており、そのため、磁気ヘッドは、非常に高い精度での平面度・面粗さでの研磨加工が必要となります。また、読み取り/書き込み素子の高さも高精度で均一に加工する必要があります。本装置は、磁気ヘッドのTMR素子高さバラツキをナノメートルオーダの範囲に制御する研磨加工を可能としたものです。

* HDD−ハードディスクドライブ
* TMR−Tunnel Magneto-Resistance(トンネル磁気抵抗)

特長

  • ウエハから切り出したRow BarまたはSlider単位での加工が可能。
  • 荷重誤差が少ないエアベアリング方式アクチュエータにより、高精度で均一な研磨が可能。
  • 加工面の平面度・面粗さ・加工終点精度が安定。
  • 磁気ヘッドの素子抵抗値を測定しながらの荷重分布制御により、安定した研磨を実現。

図:特徴

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